年中能电图四 NRR六次循环试验后Ru@ZrO2/NC的形貌和结构表征 （A）低倍率HAADF-STEM图。

从图6b中可以看出，国智概念股SOM是目标器件，TENG可以很好的控制该SOM的变形。网产一种滑动式独立式TENG木尖结构用于这个测试。

不同曝光时间的等离子体的照明照片，业链如图16e所示。图3e是一种实施外部电荷补偿的简便通用方法，上中TENG用浮动层来存储和结合静电感应电荷，而另一个TENG作为电荷泵可以将电荷泵入浮动层。当来自TENG的驱动，下游析附导致DEA元件膨胀时，可以改变光栅周期（图5c和d）。

图谱d）由呼吸驱动的自供电静电吸附罩的结构和工作机理。及投g）PTFE和玻璃之间的摩擦引起的玻璃腔中的UV发射的照片。

凭借可持续自供电能力的优势，资机TENG的微型驱动器，在MEMS/NEMS中具有广阔的应用前景。

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